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廈門航拓電氣有限公司
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真空度傳感器,采用先進(jìn)的硅微機(jī)械加工技術(shù)生產(chǎn),以集成硅壓阻力敏元件作為傳感器的核心元件制成的絕對壓力變送器,由于采用硅-硅直接鍵合或硅-派勒克斯玻璃靜電鍵合形成的真空參考壓力腔,及一系列無應(yīng)力封裝技術(shù)及精密溫度補(bǔ)償技術(shù),因而具有穩(wěn)定性優(yōu)良、精度高的突出優(yōu)點(diǎn),適用于各種情況下絕對壓力的測量與控制。
特點(diǎn)及用途
采用低量程芯片真空絕壓封裝,產(chǎn)品具有高的過載能力。芯片采用真空充注硅油隔離,不銹鋼薄膜過渡傳遞壓力,具有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性,適用于對316L不銹鋼不腐蝕的絕大多數(shù)氣液體介質(zhì)真空壓力的測量。真空度傳染其應(yīng)用于各種工業(yè)環(huán)境的低真空測量與控制
頻率響應(yīng)特性
傳感器的頻率響應(yīng)特性決定了被測量的頻率范圍,必須在允許頻率范圍內(nèi)保持不失真。實(shí)際上傳感器的響應(yīng)總有—定延遲,希望延遲時(shí)間越短越好。
傳感器的頻率響應(yīng)越高,可測的信號頻率范圍就越寬。
在動態(tài)測量中,應(yīng)根據(jù)信號的特點(diǎn)(穩(wěn)態(tài)、瞬態(tài)、隨機(jī)等)響應(yīng)特性,以免產(chǎn)生過大的誤差。
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