這種泵的極限真空為10-4~10-5帕,工作壓力范圍為10-1~10-4帕,抽速范圍為幾十至十幾萬升/秒。
油擴(kuò)散泵是獲得高真空的主要設(shè)備,廣泛用于真空冶煉、真空鍍膜、空間模擬試驗(yàn)和對(duì)油污染不敏感的一些真空系統(tǒng)中。 油擴(kuò)散泵主要由泵體、擴(kuò)散噴嘴、蒸氣導(dǎo)管、油鍋、加熱器、擴(kuò)散器、冷卻系統(tǒng)和噴射噴嘴等部分組成。當(dāng)油擴(kuò)散泵用前級(jí)泵預(yù)抽到低于1帕真空時(shí),油鍋可開始加熱。沸騰時(shí)噴嘴噴出高速的蒸氣流,熱運(yùn)動(dòng)的氣體分子擴(kuò)散到蒸氣流中,與定向運(yùn)動(dòng)的油蒸氣分子碰撞。氣體分子因此而獲得動(dòng)量,產(chǎn)生和油蒸氣分子運(yùn)動(dòng)方向相同的定向流動(dòng)。到前級(jí),油蒸氣被冷凝,釋出氣體分子,即被前級(jí)泵抽走而達(dá)到抽氣目的。
泵油的蒸氣壓直接影響泵的真空性能。但油擴(kuò)散泵所使用的任何泵油,都是蒸氣壓不同的多組分的混合物。因此,要提高油擴(kuò)散泵的抽氣和真空性能,泵在工作中自身還要對(duì)泵油進(jìn)行分餾和凈化。分餾目的是使高蒸氣壓組分的油不進(jìn)入高真空工作噴嘴(高真空端的噴嘴);凈化目的是使高蒸氣壓組分的油在工作過程中不斷為前級(jí)泵所抽除,使油逐漸趨于純凈。
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