給不是很了解真空泵的朋友看,選用真空泵時,需要留意下列事項:
1.真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求,如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg,通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)目級。
2.正確地選擇真空泵的工作點,每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:擴散泵為10-3~10-7 mmHg,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~×5-10-6 mmHg,因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8 mmHg下長期工作,又如鈦貨泵可以在10-2 mmHg下工作,但其工作壓強應小于1×10-5 mmHg為好。
3.真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4.正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,如鈦升貨泵 對氫有很高的抽速,但不能抽擬,而三極型濺射離子泵,(或二級型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度,另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空,有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
5.真空設備對油污染的要求,若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。假如要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
6.了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,要求知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵,假如氣體中含有蒸氣、顆粒及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的時氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。
7.真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,假如環(huán)境不答應有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8.真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,若工藝過程不答應,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
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