美國(guó)博曼X射線鍍層膜厚測(cè)試儀(型:高性能、高精密、高分辨),BOWMAN實(shí)現(xiàn)了快速、精密、準(zhǔn)確的X-射線測(cè)量?jī)x器,首創(chuàng)光學(xué)準(zhǔn)直器,元素范圍鋁13到鈾92。.x射線激發(fā)能量50 W(50 kv和1 ma)鎢靶射線管.探測(cè)器硅PIN檢測(cè)器250 ev的分辨率或更高的分辨率.測(cè)量的分析層和元素5層(4層鍍層+基材)和10種元素在每個(gè)鍍層成分分析的同時(shí)多達(dá)25元素。其準(zhǔn)確度、精密度和穩(wěn)定性是的。