愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

• 產(chǎn)品型號：臺
• 產(chǎn)品規(guī)格：LR3601-R
• 產(chǎn)品品牌：ULVAC愛發(fā)科

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產(chǎn)品優(yōu)勢

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修 特點(diǎn) LR系列： 除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外，它特別適用于裝卸室中的排氣，重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量

產(chǎn)品詳情

愛發(fā)科干式PRC-036D真空泵維修

特點(diǎn)

LR系列：

除了在低溫范圍內(nèi)浸泡溫度惰性氣體排出外，它特別適用于裝卸室中的排氣，重要的是縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量

HR系列/ UR系列：

可以在氣體狀態(tài)下排出在高溫區(qū)域浸泡CVD，蝕刻等產(chǎn)生的升華廢氣物質(zhì)

1000毫秒內(nèi)瞬時(shí)中斷的對策

CE兼容（可選）

使用

活性氣體（CVD，干蝕刻等）

惰性氣體排放（濺射，氣相沉積，熱處理等）

縮短裝卸室的疏散時(shí)間（LR系列）

粉末生成過程中的廢氣（Si單晶拉制等）

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵，機(jī)械增壓泵輔助排氣）

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