ULVAC愛(ài)發(fā)科LR1800干式真空泵維修

ULVAC愛(ài)發(fā)科LR1800干式真空泵維修

• 產(chǎn)品型號(hào)：臺(tái)
• 產(chǎn)品規(guī)格：LR1800
• 產(chǎn)品品牌：ULVAC愛(ài)發(fā)科

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產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

ULVAC愛(ài)發(fā)科LR1800干式真空泵維修 干泵LR/HR/UR series通過(guò)獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過(guò)搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用

產(chǎn)品詳情

ULVAC愛(ài)發(fā)科LR1800干式真空泵維修

干泵LR/HR/UR series通過(guò)獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過(guò)搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用。關(guān)于CEO-SHOCK的詳細(xì)信息

特點(diǎn)

LR Series:低溫領(lǐng)域均熱化

針對(duì)于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時(shí)間

HR Series/UR Series:高溫領(lǐng)域均熱化

CVD、蝕刻法等發(fā)生時(shí)，升華性排氣物質(zhì)的可以以氣體狀態(tài)排出

1000msec以內(nèi)的瞬停對(duì)策

可以對(duì)應(yīng)CE

用途

活性氣體（CVD、干腐蝕等）

惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）

排氣時(shí)間縮短（LR Series)

粉體發(fā)生時(shí)的過(guò)程排氣（Si單結(jié)晶提高等）

輔助排氣泵（漩渦分子泵、機(jī)械泵的輔助排氣）

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