純度是氮?dú)獾囊粋€(gè)重要技術(shù)參數(shù)，按國標(biāo)氮?dú)獾募兌确譃楣I(yè)用氮?dú)?、純氮和高純氮?dú)馊墸鼈兊募兌确謩e為99．5％（O2≤0．5％），99．99％（O2≤0．01％）和99．999％（O2≤0．001％)性質(zhì)：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃，空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa)；液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮?dú)庠?a target="_blank" >外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?9.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。
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高純氦氣的用途簡單介紹
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