意法半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁暨類比、MEMS 和感測器事業(yè)群總經(jīng)理 Benedetto Vigna 表示:“意法半導(dǎo)體 THELMA60 表面微機械加工技術(shù)的問世開啟了慣性感測器(inertial sensors)的新紀元。正如目前已進入量產(chǎn)的客戶設(shè)計證明,對于靈敏度有極高要求并具有挑戰(zhàn)性的應(yīng)用,例如植入性醫(yī)療設(shè)備、航太系統(tǒng)(aerospace systems)和震波探勘(seismic exploration)的感測器等曾經(jīng)被立體微機械加工技術(shù)壟斷的市場,THELMA60 是一個能夠為這些應(yīng)用有效地提高成本效益的理想解決方案